蔡司三坐标与传统方法的不同之处在于蔡司三坐标能够同时测量尺寸和形状。三坐标测量机将被测量对象作为离散点集合，针对不同的被测量对象或要求，测量从该集合采集的数量不同的几个离散点，由此代替该被测量对象经过计算确定被测对象的尺寸和形状。
测量工件前，首先要将探针在标准球上校准，以消除由于环境条件变化所产生的探针半径误差对测量结果的影响，然后根据工件的设计基准或工艺基准，找正工件坐标系，而对工件的装夹和调整几乎没有要求，只有在测量中工件能保持稳定即可。
位置误差是关联被测实际要素对基准要素的变动量，由于实际零件的基准也存在有形状误差，因而常规测量中需模拟基准要素，通常采用具有足够形状的表面，使基准实际要素与模拟基准间形成符合zui小条件的相对位置关系。
用蔡司三坐标测量时，只用在工件上测出若干个点的坐标值，再由计算机计算出平行误差即可，测量精度取决于蔡司三坐标的精度，与工件的放置位置无关，因而与被测零件的实际情况更为接近。
曲面的测量可分两类：一类是被测曲面的理论形状已知的场合，对实际曲面进行评定，实际上经常是要求测量曲面的面轮廓度误差;另一类是理论曲面形状未知的场合，根据实测数据，拟合理论曲面，常规方法主要用于类测量。
蔡司三坐标测量中，将被测部件放在工作台上，正确定位寻找后，在手动测量模式下测量几个点的坐标值，将测量的坐标值与理论轮廓的坐标值进行比较，将其差zui大的值的两倍作为该部件的面轮廓度的误差。
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