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日本CANON-ANELVA佳能真空计M-311HG-SP/C34/C70/N16/N25
测量超过溅射过程的低真空区域而不牺牲超高真空侧的特性到
10 -7 Pa到10 Pa的宽压力测量范围
高响应模拟输出
压力值的模拟信号输出确保100毫秒内的高响应性,也可用于过程压力控制
四种发光电流设定模式
可以根据应用进行选择,例如在高压区域侧使用时的灯丝寿命改善
生产真空装置的压力测量
半导体溅射装置的压力测量
各种真空设备
离子计 | |
M-311 HG-SP | M-311 HG-RS |
1×10 -7至10 Pa | |
DC 20至28 V. | |
12 W | |
0至10 V. | - |
2点继电器输出 | |
- | RS485 |
Dsub-9(男) | |
200米(1毫米2) | |
5至50°C | |
-20至70°C | |
微型BA测量仪(MG-2I系列) | |
灯丝:Y 2 O 3 / Ir,表壳:SUS 304 | |
110×70×50 | |
NW 16,NW 25,ICF 34,ICF 70 | |
IP40 | |
支持 |
日本CANON-ANELVA佳能真空计M-311HG-SP/C34/C70/N16/N25
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