日本CANON-ANELVA佳能热阴极电离真空计

简要描述：日本CANON-ANELVA佳能热阴极电离真空计特点
测量超过溅射过程的低真空区域而不牺牲超高真空侧的特性到
10 -7 Pa到10 Pa的宽压力测量范围
高响应模拟输出
压力值的模拟信号输出确保100毫秒内的高响应性，也可用于过程压力控制

产品型号：M-311HG-SP/RS
厂商性质：代理商
更新时间：2022-03-09
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详细介绍

日本CANON-ANELVA佳能热阴极电离真空计M-311HG-SP/RS

特点

测量超过溅射过程的低真空区域而不牺牲超高真空侧的特性到
10 ^-7 Pa到10 Pa的宽压力测量范围
高响应模拟输出
压力值的模拟信号输出确保100毫秒内的高响应性，也可用于过程压力控制
四种发光电流设定模式
可以根据应用进行选择，例如在高压区域侧使用时的灯丝寿命改善

日本CANON-ANELVA佳能热阴极电离真空计

使用

生产真空装置的压力测量
半导体溅射装置的压力测量
各种真空设备

规范

输入名称压力测量范围输入电压功耗模拟输出设定点接口I / O连接器电缆长度工作温度范围储存温度范围传感器 - 类型名称传感器材料（主要部分）尺寸（mm）法兰形状保护标准RoHS，CE标志

离子计
M-311 HG-SP	M-311 HG-RS
1×10 ^-7至10 Pa
DC 20至28 V.
12 W
0至10 V.	-
2点继电器输出
-	RS485
Dsub-9（男）
200米（1毫米²）
5至50°C
-20至70°C
微型BA测量仪（MG-2I系列）
灯丝：Y 2 O 3 / Ir，表壳：SUS 304
110×70×50
NW 16，NW 25，ICF 34，ICF 70
IP40
支持

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日本CANON-ANELVA佳能热阴极电离真空计

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