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日本CANON-ANELVA佳能真空计
可以从宽测量范围
到大气压下1×10 -2 Pa的优异再现性进行测量
高安全性
水晶压力表是一种没有热源（灯丝）的真空计
紧凑，超轻量
控制器部件，手掌大小，质量仅200g
※仅适用于A-NET显示器M-390·M-391，M-320XG。
*它是单通道兼容的。
各种真空设备的粗加工压力的测量
压力测量各种过程
用于检测的压力开关，例如腔室通风口
压力测量从其他大气压力到10 -2 Pa 的量级
| M-320 XG | |
| XG-1水晶头（水晶测量仪） | |
| 1×10 -2 Pa至大气压 | |
| N 2，Ar，H 2，空气 | |
| DC 0-10V：以下项目的输出格式由数字开关设置 ①Log输出 ②复合输出 ③可以选择线性输出满量程压力范围（1×10 1，1×10 2，1×10 3，1×10 4，1× 10 5 Pa） | |
| INPUT | ①气体类型设置2位信号切换 ②零点调整 ③ATM设置 |
| OUTPUT | 设定点输出2点 |
| 2点（光电耦合器输出，固定滞后） 由数字开关设定（SP1，SP2常用尾数部分，指数部分） | |
| 5°C至50°C（包括控制器） 测量头的耐热温度仅为150°C MAX | |
| 通过PUSH开关或远程I / O输入进行软件零点调整 | |
| 通过微调量调整 | |
| Dsub 15P | |
| 3个LED（PWR / ALM···2种颜色的绿色/红色，SP 1 - 状态···绿色，SP 2 - 状态···绿色） | |
| DC 22 V至33 V，（功耗2 W） | |
| 72.5 H×102 W×44.5 D（不包括仪表头） | |
| 200克（不包括仪表头） | |
| NW 16，NW 25，φ34ICF，φ70ICF等 | |
日本CANON-ANELVA佳能真空计
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