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日本CANON-ANELVA佳能真空计
提高耐腐蚀性
使用镍丝
良好的重复性和低成本
从5×10 -2 Pa到大气压
半导体和电子器件制造设备
干蚀刻设备，等离子CVD设备，LD-CVD设备
食品和药品生产设备
真空冷冻干燥，减压蒸馏，灭菌设备
| M-351PG-SP （镍丝）（设定点型） |
| 5×10 -2到1×10 5（Pa） |
| ±50％：5×10 -2至1×10 -1 ±15％：1×10 -1至1×10 4 ±50％：1×10 4至1×10 5 |
| ±2％：1×10 -1至1×10 4 Pa |
| +14至30VDC |
| 2W |
| 0到10V |
| 13KΩ（D-sub 5和9引脚之间） |
| 2触点输出（1A 30V，DC） |
| - |
| D-sub 9针 |
| 200米（0.34毫米2）支持* 1 |
| 5至60℃ |
| -20至70℃（未运行） |
| <+ 150℃（O型圈规格，仅测量头） <+ 300℃（金属密封规格，仅测量头） |
| 1MPa（限于接头形状，惰性气体，温度） |
| MP-2 |
| NW16，NW25,1 / 8NPT |
| 皮拉尼灯丝：镍 传感器管：不锈钢 入口端子绝缘体：Koval玻璃+ Al 2 O 3涂层 |
| IP40 |
| 兼容 |
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